超声波电源按激励方式的不同可分为自激式和它激式，而
超声波发生器指的就是它激式超声波电源，由于它激式振荡电路在输出功率方面较自激式高出10%以上，因此目前大多数均采用的超声波发生器作为驱动电源
自激电路没有信号源，是把振荡、功放、输出变压器及换能器集为一体，形成一闭环回路，回路在满足幅度、相位反馈条件，组成一个有功率放大的振荡器。并谐振于换能器的机械共振频率上。一般应用于
超声波换能器数量少的小型设备；但是对于超声波换能器数量多的情况下，无法调试达到共振效果。所以目前工业用超声波洗净设备的超声波电源大都采用他激方式。
